צילום המסמכים הומצא ע"י עו"ד צ'סטר פ. קרלסון בשנות ה-30 לאחר שנתקל בבעיה בה אמור היה לצלם מסמכים שהיו ברשותו. לאחר סידרת ניסויים פוטו-חשמליים הוא הצליח לצלם מסמך ראשון בשנת 1937. לצערו של קרלסון אף חברה לא היתה מעוניינת בהמצאה שלו ולא יחסו לה חשיבות מיוחדת. רק בשנת 1944 מצא חברה קטנה בשם "בטל ממוריאל" שהיתה מוכנה לממן את פיתוח צילום המסמכים של קרלסון בתמורה לאחוזים עתידיים ברווחים. עם בשנים הפך צילום המסמכים לנפוץ יותר ויותר וחברת "בטל ממוריאל" גרפה רווחים גבוהים מהמצאתו של קרלסון ואף שינתה את שמה לזירוקס אשר הפך במהרה לשם נירדף לצילום מסמכים.
מכונות הצילום הפכו על השנים ליותר ויותר משוכללות והחליפו על המכונות הצילום הראשונות שיצאו ב1949 אשר היו איטיות ולא יעילות. עם המצאת הטונר הפכו ממוכות הצילום למהירות יותר, איכותיות יותר ומכונות צילום המסמכים הפכו למכשיר של מה בכל בכל חברה.
צילום מסמכים בימנו אנו הוא דבר של מה בכך, זמין וזול לכלל. צילום המסמכים נעשה בשחור או בצבע, בהירויות שונות, שינוי גודל מסמך המקור וכל זה תוך שמירה כלפי המקור.
היום חברות רבות נותנות שירותי צילום מסמכים והופכות אותו לזמין לכלל. ניתן לצלם מסמך בכל צבע, כל גודל במהירות תוך שמירה על איכות הצילום.
האופן בו מתבצע הצילום עצמו דרך מכונת הצילום הוא כאשר מונח המסמך על לוח הסריקה, נורה אשר סורקת את המסמך, אזורים בהם חזר האור יוצרים מטענים חשמליים אשר מוזנים לתוף. אבקת פחם שמפוזרת על הנייר אשר נכנס לתוף נספגת בו ע"י חום באותם מקומות בהם המטען החשמלי היה שונה לפי צילום מסמך המקור ומוציאה את הדף.
דרך אחרת כשיום שניתן לצלם מסמכים היא ע"י מחשב ביתי פשוט לו מחוברים מדפסת וסורק. הצילום נעשה ע"י סריקת המסמך והפקתו במדפסת. בצורה זו צילום המסמכים נכנס לכל בית והפך זמין עוד יותר לכלל האנשים.